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公开(公告)号：CN113766977A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202080032588.2
申请日：2020-04-29
Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
Inventor： 希尔克·布勒·阿克曼 , 阿尔伯特·佑斯·扬·玛丽·万布里曼 , 格温·赫尔曼纳斯·格林克 , 阿瑟·佩里·伯克霍夫 , 保罗·路易斯·玛莉亚·约瑟夫·万妮尔 , 阿尔诺·威廉·弗雷德里克·佛尔克
IPC: B06B1/06
Abstract: 一种声学器件(100)，该声学器件包括声学换能器(10a，10b)的阵列，该声学换能器的阵列由柔性基底(11)上的图案化的堆叠(12‑15)形成。堆叠包括：压电层(13)，该压电层被夹在相应的底部电极层和顶部电极层(12，15)之间；以及图案化的绝缘层(14)，该图案化的绝缘层由绝缘材料(14m)的图案形成。该图案包括绝缘区域(A14)和没有绝缘材料(14m)的接触区域(A10)，在该绝缘区域处，绝缘材料(14m)被布置在电极(12，15)中的一个电极和压电层(13)之间，在接触区域处，两个电极(12，15)都与压电层(13)接触。
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