公开(公告)号：CN105144405B

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201480019482.3

申请日：2014-02-12

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： J·范登布兰德 ,  加里·阿鲁提诺夫 ,  艾兹格·康斯坦特·彼得·施密特 ,  斯 ,  A·H·迪策尔

IPC: H01L31/0392

CPC classification number: B32B37/0053 ,  B32B37/025 ,  B32B37/22 ,  B32B2457/00 ,  H01L31/03926 ,  H01L31/206 ,  Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 使所述被对准的相应箔形部件与所述目标基底在所述装配位置中接触以便传送所述箔形部件到所述目标基底。