-
公开(公告)号：CN102204427A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200980143634.X
申请日：2009-09-01
Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
Inventor： 阿德里亚努斯·乔纳斯·柏图斯·玛利亚·弗米尔 , 杰克斯·科·约翰·凡·德·多克 , 克莱蒙斯·玛利亚·伯纳德斯·凡·德·索恩 , 欧文·约翰·凡·兹维特 , 罗伯特·思奈尔 , 彼得·威廉·赫尔曼·德·耶格尔
CPC classification number: H01L21/67144 , H05K13/0812
Abstract: 本发明涉及一种拾取放置机器，其包括：拾取站；放置站；拾取/放置头，其用于沿传送路径将芯片从拾取站传送到放置站；其中该机器还包括芯片面处理机构，其包括检测单元和/或清洁单元，用于对传送路径上的芯片的面进行处理。
Search Results
1
records
(took 0.019 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
