公开(公告)号：CN102197157B

公开(公告)日：2013-10-09

申请号：CN200980142914.9

申请日：2009-08-25

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 迪德瑞克·简·马斯 ,  鲍勃·凡·索美伦 ,  阿克赛尔·塞巴斯蒂安·莱克斯蒙德 ,  卡罗勒斯·艾达·玛丽亚·安东尼乌斯·斯佩 ,  安东尼·埃勒特·杜伊斯特温克尔 ,  阿德里亚努斯·约翰内斯·柏图斯·玛丽亚·维梅尔

IPC: C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45551

Abstract: 本发明涉及一种用于在衬底(6)的表面(4)上进行原子层沉积的装置(2)。该装置(2)包括前驱体注入头(10)，该前驱体注入头(10)包括前驱体供给源(12)和在使用中由前驱体注入头(10)和衬底表面(1)来界定的沉积空间(14)。前驱体注入头(10)设置为可将前驱体气体从前驱体供给源(12)注入到沉积空间(14)中以与衬底表面(4)接触。该装置(2)设置为可在沉积空间(14)和衬底(6)之间在衬底表面(4)的平面中提供相对运动。该装置(2)具有限制结构(26)，其设置为可将所注入的前驱体气体限制在与衬底表面(4)相邻的沉积空间(14)中。

公开(公告)号：CN102197157A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN200980142914.9

申请日：2009-08-25

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 迪德瑞克·简·马斯 ,  鲍勃·凡·索美伦 ,  阿克赛尔·塞巴斯蒂安·莱克斯蒙德 ,  卡罗勒斯·艾达·玛丽亚·安东尼乌斯·斯佩 ,  安东尼·埃勒特·杜伊斯特温克尔 ,  阿德里亚努斯·约翰内斯·柏图斯·玛丽亚·维梅尔

IPC: C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45551

Abstract: 本发明涉及一种用于在衬底(6)的表面(4)上进行原子层沉积的装置(2)。该装置(2)包括前驱体注入头(10)，该前驱体注入头(10)包括前驱体供给源(12)和在使用中由前驱体注入头(10)和衬底表面(1)来界定的沉积空间(14)。前驱体注入头(10)设置为可将前驱体气体从前驱体供给源(12)注入到沉积空间(14)中以与衬底表面(4)接触。该装置(2)设置为可在沉积空间(14)和衬底(6)之间在衬底表面(4)的平面中提供相对运动。该装置(2)具有限制结构(26)，其设置为可将所注入的前驱体气体限制在与衬底表面(4)相邻的沉积空间(14)中。