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公开(公告)号：CN115136333A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202180015899.2
申请日：2021-02-04
Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
Inventor： 劳伦斯·克里斯蒂安·约翰内斯·玛丽亚·佩特斯 , 扬-劳伦斯·皮特尔·雅各布斯·范徳斯特恩 , 罗伊·赫拉尔杜斯·弗兰西斯克斯·费尔贝克 , 保罗·路易斯·玛莉亚·约瑟夫·万妮尔 , 格温·赫尔曼纳斯·格林克
IPC: H01L41/083 , H01L41/277 , B06B1/06
Abstract: 一种压电装置(100)及制造方法。提供第一基板(10)，其具有包含压电材料(M)的若干支柱(11)的阵列。提供第二基板(20)，其具有面向支柱(11)的相应端部的压电层(21)。在压电层(21)至少部分地为液体时，将支柱(11)的相应端部推压(P)至压电层(21)内。使压电层(21)硬化，以在压电层(21)和支柱(11)之间形成整体连接。因此，压电层(21)可以在支柱(11)的相应端部之间形成桥接结构。该整体式压电结构可通过高电压(HV)来极化。桥接结构可用作用于沉积电触点(23)的平台。压电装置(100)可用于例如在医学成像中生成或检测声波。
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