高分辨率激光诱导正向转移

    公开(公告)号:CN113165379A

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN201980080372.0

    申请日:2019-12-03

    Abstract: 在用于激光诱导正向转移(LIFT)的方法和系统中,根据非高斯强度分布(Ixy)来传递能量(E1、E2),该强度分布(Ixy)在供体材料(11m)的界面(11xy)上进行空间上的调整,以使供体材料(11m)从供体衬底喷射作为延伸射流(Je),该延伸射流(Je)在转移周期(Tt)期间暂时地桥接供体衬底(11)与接收衬底(12)之间的转移距离(Zt)。强度分布(Ixy)的中心处的局部增强的强度尖峰(Is)使供体材料的相对厚的射流(J1)在供体衬底(11)和接收衬底(12)之间的分支位置(J12)处分支成相对薄的射流(J2)。厚的射流(J1)允许相对大的转移距离(Zt),而薄的射流(J2)沉积相对小的供体材料(11m)的液滴(Jd)。

    高分辨率激光诱导正向转移

    公开(公告)号:CN113165379B

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN201980080372.0

    申请日:2019-12-03

    Abstract: 在用于激光诱导正向转移(LIFT)的方法和系统中,根据非高斯强度分布(Ixy)来传递能量(E1、E2),该强度分布(Ixy)在供体材料(11m)的界面(11xy)上进行空间上的调整,以使供体材料(11m)从供体衬底喷射作为延伸射流(Je),该延伸射流(Je)在转移周期(Tt)期间暂时地桥接供体衬底(11)与接收衬底(12)之间的转移距离(Zt)。强度分布(Ixy)的中心处的局部增强的强度尖峰(Is)使供体材料的相对厚的射流(J1)在供体衬底(11)和接收衬底(12)之间的分支位置(J12)处分支成相对薄的射流(J2)。厚的射流(J1)允许相对大的转移距离(Zt),而薄的射流(J2)沉积相对小的供体材料(11m)的液滴(Jd)。

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