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公开(公告)号：CN113166934A
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201980079633.7
申请日：2019-12-03
Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO
Inventor： 科尼利斯·亨里库斯·弗里杰特斯 , 保罗斯·威利布罗德·乔治·普特 , 阿普里扎尔·阿克巴·森格里安
IPC: C23C16/40 , C23C16/455
Abstract: 用于在衬底上沉积原子层的方法和系统。所述方法进行一个或多个方法循环以形成p型氧化物层，其中方法循环包括连续进行以下步骤：将所述衬底暴露于Sn(IV)或Cu(II)前体气体，将所述衬底暴露于氧供体气体，其中在将所述衬底暴露于所述氧供体气体之前和/或之后，将氢自由基暴露于所述衬底。
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