公开(公告)号：CN102803553B

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201180014351.2

申请日：2011-02-17

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 阿里尔·德格拉夫 ,  欧文·约翰·凡·斯维特 ,  保卢斯·威尔布罗杜萨·乔治·普迪 ,  阿德里亚努斯·约翰尼斯·皮德勒斯·玛利亚·弗米尔

IPC: C23C16/04 ,  C23C16/54 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45551 ,  C23C16/04 ,  C23C16/545

Abstract: 一种用于制造具有沉积材料的图案化层的基板的方法，所述图案化层从加工头沉积，所述方法包括：从所述加工头施加轴承气体以保持所述加工头通过气体轴承悬浮在所述基板上方；使所述基板和悬浮的所述加工头相对于彼此移动；涂敷打底材料，用于沉积材料至所述基板的选择性沉积，从所述加工头的面向所述基板的表面的第一区域涂敷所述打底材料，且在涂敷所述打底材料后或涂敷所述打底材料的过程中在所述基板上使所述打底材料立体地形成图案；从所述加工头的面向所述基板的表面的第二区域涂敷所述沉积材料至所述基板，所述第二区域位于所述第一区域在所述基板相对于所述加工头的移动方向上的下游。

公开(公告)号：CN102803553A

公开(公告)日：2012-11-28

申请号：CN201180014351.2

申请日：2011-02-17

Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织TNO

Inventor： 阿里尔·德格拉夫 ,  欧文·约翰·凡·斯维特 ,  保卢斯·威尔布罗杜萨·乔治·普迪 ,  阿德里亚努斯·约翰尼斯·皮德勒斯·玛利亚·弗米尔

IPC: C23C16/04 ,  C23C16/54 ,  C23C16/455

CPC classification number: C23C16/45551 ,  C23C16/04 ,  C23C16/545

Abstract: 一种用于制造具有沉积材料的图案化层的基板的方法，所述图案化层从加工头沉积，所述方法包括：从所述加工头施加轴承气体以保持所述加工头通过气体轴承悬浮在所述基板上方；使所述基板和悬浮的所述加工头相对于彼此移动；涂敷打底材料，用于沉积材料至所述基板的选择性沉积，从所述加工头的面向所述基板的表面的第一区域涂敷所述打底材料，且在涂敷所述打底材料后或涂敷所述打底材料的过程中在所述基板上使所述打底材料立体地形成图案；从所述加工头的面向所述基板的表面的第二区域涂敷所述沉积材料至所述基板，所述第二区域位于所述第一区域在所述基板相对于所述加工头的移动方向上的下游。