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公开(公告)号：CN109643740B
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN201780026431.7
申请日：2017-04-26
Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织 TNO
Inventor： 约翰·博斯曼 , 安妮·费伦茨·卡雷尔·维克托·比泽曼 , 薇洛妮克·斯蒂芬妮·盖瓦尔特 , 尼古拉·德伯纳迪
IPC: H01L31/0749 , H01L31/0463
Abstract: 本发明涉及制造互连太阳能电池的方法。该方法包括以下步骤：a)在基底上设置连续的层堆叠部(100)。层堆叠部具有顶部电极层(130)、与基底相邻的底部电极层(140)、光伏有源层(150)和与底部电极层相邻的阻挡层(160)，阻挡层介于顶部电极层与底部电极层之间。b)使用具有第一波长的第一激光束(270)，选择性地去除顶部电极层和光伏层，以获得曝光阻挡层的第一沟槽(210)；c)使用具有第二波长的第二激光束(272)，选择性地去除第一沟槽内阻挡层和底部电极层，以获得暴露基底的第二沟槽(312)，d)用电绝缘构件(480)填充第一沟槽和第二沟槽。第一激光束的第一波长比与光伏层的带隙能量相对应的波长大。
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