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公开(公告)号：CN116897437A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202280017139.X
申请日：2022-02-25
Applicant: 荷兰应用自然科学研究组织 TNO
Inventor： 约翰·安克 , 兰伯特·约翰·吉尔利格斯
IPC: H01L31/078
Abstract: 一种用于制造包括硅基底部太阳能电池(2)和薄膜顶部太阳能电池(11)的双端或三端串联太阳能电池的方法；该方法包括：设置具有前表面和后表面的硅衬底(3)；执行一系列步骤，包括：在前表面上生成载流子提取层堆叠部(16)，载流子提取层叠层(16)至少包括在衬底的前表面上或衬底的前表面中形成的载流子提取层(8)；在后表面上生成钝化涂层，包括沉积第一AlOx层(9)；在前表面上的载流子提取层堆叠部上生成包括第二AlOx层(6)的牺牲层堆叠部；在后表面上生成金属基电基础部(7)，包括退火步骤；从载流子提取叠层中去除牺牲层堆叠部，并在载流子提取层堆叠部上生成薄膜顶部太阳能电池。
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