公开(公告)号：CN112782438A

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN202110009169.3

申请日：2021-01-05

申请人： 苏州雨竹机电有限公司

发明人： 吴铭钦 ,  刘峰 ,  黄宏义

IPC分类号： G01R1/073 ,  G01R1/067

摘要： 本发明为一种磁吸式探针卡装置，包括一探针卡及一测试座。探针卡包括复数探针设置在基板上，且探针向下延伸至基板下表面，每一探针上表面镀有一磁性层。测试座则对应探针卡设置，测试座包括一晶圆测试平台及一电磁铁，电磁铁设置于晶圆测试平台下方，电磁铁能产生磁力，以将复数探针吸附至晶圆测试平台，令复数探针接触到晶圆测试平台上的晶圆，以进行晶圆检测。本发明可利用磁力吸附探针接触到晶圆，能有效确保复数探针都接触晶圆探测点，且避免探针被过度施力，减少探针结构的疲劳或断裂，同时减少晶圆测试接点上针痕的产生程度。

公开(公告)号：CN214374930U

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN202120016530.0

申请日：2021-01-05

申请人： 苏州雨竹机电有限公司

发明人： 吴铭钦 ,  刘峰 ,  黄宏义

IPC分类号： G01R1/073 ,  G01R1/067

摘要： 本实用新型为一种磁吸式探针卡装置，包括一探针卡及一测试座。探针卡包括复数探针设置在基板上，且探针向下延伸至基板下表面，每一探针上表面镀有一磁性层。测试座则对应探针卡设置，测试座包括一晶圆测试平台及一电磁铁，电磁铁设置于晶圆测试平台下方，电磁铁能产生磁力，以将复数探针吸附至晶圆测试平台，令复数探针接触到晶圆测试平台上的晶圆，以进行晶圆检测。本实用新型可利用磁力吸附探针接触到晶圆，能有效确保复数探针都接触晶圆探测点，且避免探针被过度施力，减少探针结构的疲劳或断裂，同时减少晶圆测试接点上针痕的产生程度。

公开(公告)号：CN215678497U

公开(公告)日：2022-01-28

申请号：CN202120988401.8

申请日：2021-05-10

申请人： 苏州雨竹机电有限公司

发明人： 吴铭钦 ,  刘峰 ,  黄宏义

IPC分类号： G01R1/073 ,  G01R31/26

摘要： 本实用新型为一种磁吸式探针卡装置，包括一探针卡及一测试座。探针卡包括复数探针设置在基板上，且探针向下延伸至基板下表面，每一基板上表面镀有一磁性层。测试座则对应探针卡设置，测试座包括一晶圆测试平台及一电磁铁，电磁铁设置于晶圆测试平台下方，电磁铁能产生磁力，以吸引基板接近晶圆测试平台，令复数探针接触到晶圆测试平台上的晶圆，以进行晶圆检测。本实用新型可利用磁力吸附探针卡接触到晶圆，能有效确保复数探针都接触晶圆探测点，且避免探针被过度施力，减少探针结构的疲劳或断裂，同时减少晶圆测试接点上针痕的产生程度。