公开(公告)号：CN111769438A

公开(公告)日：2020-10-13

申请号：CN201910260182.9

申请日：2019-04-02

申请人： 苏州长瑞光电有限公司

发明人： 许聪基 ,  赖铭智 ,  林弘伟 ,  许文士 ,  郭浩中 ,  叶晏玮 ,  萧越 ,  向宇 ,  张鹏

IPC分类号： H01S5/183

摘要： 本发明公开一种面射型激光装置。面射型激光装置用以产生一激光光束，且包括外延叠层体以及一保护结构。外延叠层体包括一第一反射镜层、一有源层、一第二反射镜层。有源层位于第一反射镜层与第二反射镜层之间，且外延叠层体具有至少一氧化沟槽，其由外延叠层体的一表面延伸至外延叠层体内部。保护结构设置于外延叠层体上，且包括一第一叠层部分。第一叠层部分覆盖氧化沟槽的一内壁面，且第一叠层部分至少包括一应力缓冲层、一氧化铝层以及一覆盖层。氧化铝层夹设在应力缓冲层与覆盖层之间。

公开(公告)号：CN111769438B

公开(公告)日：2021-10-15

申请号：CN201910260182.9

申请日：2019-04-02

申请人： 苏州长瑞光电有限公司

发明人： 许聪基 ,  赖铭智 ,  林弘伟 ,  许文士 ,  郭浩中 ,  叶晏玮 ,  萧越 ,  向宇 ,  张鹏

IPC分类号： H01S5/183

摘要： 本发明公开一种面射型激光装置。面射型激光装置用以产生一激光光束，且包括外延叠层体以及一保护结构。外延叠层体包括一第一反射镜层、一有源层、一第二反射镜层。有源层位于第一反射镜层与第二反射镜层之间，且外延叠层体具有至少一氧化沟槽，其由外延叠层体的一表面延伸至外延叠层体内部。保护结构设置于外延叠层体上，且包括一第一叠层部分。第一叠层部分覆盖氧化沟槽的一内壁面，且第一叠层部分至少包括一应力缓冲层、一氧化铝层以及一覆盖层。氧化铝层夹设在应力缓冲层与覆盖层之间。