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公开(公告)号：CN113584581B
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202110908146.6
申请日：2021-08-09
Applicant: 苏州耘林芯半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种MOCVD系统反应腔清理装置，包括自带加热装置的反应腔，反应腔上设置有氯气进气口和清扫进气口，氯气进气口与氯气储存瓶联通，清扫进气口与吹扫系统连通，反应腔上还设置有出气口，该出气口连接有过滤器，过滤器包括箱体，箱体上设置有分隔板，分隔板将箱体分隔成为进气腔室和出气腔室，分隔板上设置有连通孔，分隔板上位于进气腔室内固定有滤芯组件，出气腔室上设置有排气口且内部固定有抽气风机，滤芯组件的内腔与连通孔相互连通，所述进气腔室上设置有补气口，该补气口与补气冷却系统相互连通。该清理装置能够对反应腔进行在线清理，从而减少停机次数，提高生产效率，保证产品的一致性。
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公开(公告)号：CN113584581A
公开(公告)日：2021-11-02
申请号：CN202110908146.6
申请日：2021-08-09
Applicant: 苏州耘林芯半导体科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种MOCVD系统反应腔清理装置，包括自带加热装置的反应腔，反应腔上设置有氯气进气口和清扫进气口，氯气进气口与氯气储存瓶联通，清扫进气口与吹扫系统连通，反应腔上还设置有出气口，该出气口连接有过滤器，过滤器包括箱体，箱体上设置有分隔板，分隔板将箱体分隔成为进气腔室和出气腔室，分隔板上设置有连通孔，分隔板上位于进气腔室内固定有滤芯组件，出气腔室上设置有排气口且内部固定有抽气风机，滤芯组件的内腔与连通孔相互连通，所述进气腔室上设置有补气口，该补气口与补气冷却系统相互连通。该清理装置能够对反应腔进行在线清理，从而减少停机次数，提高生产效率，保证产品的一致性。
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公开(公告)号：CN215782313U
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202121845598.6
申请日：2021-08-09
Applicant: 苏州耘林芯半导体科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种MOCVD系统用的滤芯组件，包括上安装板、下安装板和中心龙骨，上安装板上设置有中心通孔，中心龙骨包括顶板、底板和连接顶板和底板之间的若干根连接螺杆，顶板和底板之间焊接有若干根支撑杆，支撑杆位于连接螺杆的外侧，连接螺杆的上端和下端分别贯穿所述上安装板和下安装板并螺栓固定，中心龙骨的外部套装有滤料筒，滤料筒由折叠的滤料围成，滤料筒的外部套装有不锈钢滤筒，不锈钢滤筒通过固定结构安装于上安装板和下安装板之间，上安装板和下安装板上位于不锈钢滤筒的外侧设置有与补气冷却系统连通的多个补气口。该滤芯组件能够满足MOCVD系统中的尾气过滤，使用寿命更长。
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公开(公告)号：CN215593240U
公开(公告)日：2022-01-21
申请号：CN202121845593.3
申请日：2021-08-09
Applicant: 苏州耘林芯半导体科技有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种MOCVD系统反应腔清理装置，包括自带加热装置的反应腔，反应腔上设置有氯气进气口和清扫进气口，氯气进气口与氯气储存瓶联通，清扫进气口与吹扫系统连通，反应腔上还设置有出气口，该出气口连接有过滤器，过滤器包括箱体，箱体上设置有分隔板，分隔板将箱体分隔成为进气腔室和出气腔室，分隔板上设置有连通孔，分隔板上位于进气腔室内固定有滤芯组件，出气腔室上设置有排气口且内部固定有抽气风机，滤芯组件的内腔与连通孔相互连通，所述进气腔室上设置有补气口，该补气口与补气冷却系统相互连通。该清理装置能够对反应腔进行在线清理，从而减少停机次数，提高生产效率，保证产品的一致性。
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