公开(公告)号：CN118053803A

公开(公告)日：2024-05-17

申请号：CN202410196259.1

申请日：2024-02-22

申请人： 苏州清越光电科技股份有限公司

发明人： 任晓莹 ,  高裕弟 ,  程清 ,  毛浩浩 ,  朱鹏飞 ,  马志豪

IPC分类号： H01L21/683 ,  H01L21/677

摘要： 本申请涉及基片转移装置及基片转移方法，包括机械手、基片支撑部件，吹气孔用于向基片底部吹气从而将基片托起，改进对于基片的具体托起方式从而改进机械手吸取基片的方式，设置吹气孔以吹气的方式将基片托起，使机械手被动吸附，降低机械手吸嘴的磨损，防止吸取基片失败等异常，能够使装置适应不同厚度、尺寸等参数的基片，通过设置相关的控制参数，通过电气控制实现对不同基片的调整，避免了对装置机械结构进行调试的步骤。采用了气体托起的方式使基片被机械手吸附，不需要确保机械手和吸嘴与基片完全相对水平，不存在个别吸嘴漏真空的问题，同时无需使两者之间相对水平的调试过程。

公开(公告)号：CN117070898A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202311064734.1

申请日：2023-08-23

申请人： 苏州清越光电科技股份有限公司 ,  义乌清越光电技术研究院有限公司

发明人： 毛浩浩 ,  杨宗苓 ,  梁永朋 ,  任晓莹 ,  李勇 ,  程清 ,  马中生

IPC分类号： C23C14/24 ,  C23C14/54

摘要： 本发明涉及一种蒸镀压合系统及其破真空压力自适应控制方法，其系统包括：压合平台用于吸附屏体并转运，压合平台与屏体的接触面上设置有出气孔，出气孔通过气管与破真空气源相连，电磁气压调节阀串连于气管上，机械手承载压合平台送来的屏体并完成转运，压合平台与机械手设置在蒸镀腔室中，在蒸镀腔室中还设置有气压检测单元，控制单元的数据输入端与气压检测单元相连，控制输出端与电磁气压调节阀相连，用于根据蒸镀腔室内的气压调整电磁气压调节阀的输出的气体气压。本申请通过结构调整，配合控制方法对于压力参数进行计算与控制，实现破真空压力的自适应调整，降低屏体意外损坏率，保障生产工作的持续稳定运行。