一种制备纳米氮化镓薄膜的设备及方法

    公开(公告)号:CN117165939B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202311418733.2

    申请日:2023-10-30

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本发明提供了一种制备纳米氮化镓薄膜的设备及方法,包括:容纳组件,容纳组件包括封闭设置的第一容器以及设置于第一容器内部且非封闭设置的第二容器;提拉组件,提拉组件穿设连接第一容器,其包括设置于第二容器内部且沿本设备高度方向升降的基底夹;连通组件,连通组件包括连通第二容器的导入机构以及连通第一容器的导出机构。方法具体包括如下步骤:S1、在衡压条件下向容纳组件内部导入NH3分子和液态镓,其中,NH3分子位于第一容器内,液态镓位于第二容器内,以此创建反应空间;S2、将基底置于反应空间中使其反复浸渍液态镓,直至其形成具有预设厚度的第一纳米镓材料;S3、将第一纳米镓材料焙烧冷却后,得到纳米氮化镓薄膜。

    一种制备纳米氮化镓薄膜的设备及方法

    公开(公告)号:CN117165939A

    公开(公告)日:2023-12-05

    申请号:CN202311418733.2

    申请日:2023-10-30

    Applicant: 苏州大学

    Abstract: 本发明提供了一种制备纳米氮化镓薄膜的设备及方法,包括:容纳组件,容纳组件包括封闭设置的第一容器以及设置于第一容器内部且非封闭设置的第二容器;提拉组件,提拉组件穿设连接第一容器,其包括设置于第二容器内部且沿本设备高度方向升降的基底夹;连通组件,连通组件包括连通第二容器的导入机构以及连通第一容器的导出机构。方法具体包括如下步骤:S1、在衡压条件下向容纳组件内部导入NH3分子和液态镓,其中,NH3分子位于第一容器内,液态镓位于第二容器内,以此创建反应空间;S2、将基底置于反应空间中使其反复浸渍液态镓,直至其形成具有预设厚度的第一纳米镓材料;S3、将第一纳米镓材料焙烧冷却后,得到纳米氮化镓薄膜。

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