公开(公告)号：CN115901181A

公开(公告)日：2023-04-04

申请号：CN202210202684.8

申请日：2022-03-03

Applicant: 苏州大学

Inventor： 王慧全 ,  陈新华 ,  朱嘉诚 ,  沈为民

IPC: G01M11/02

Abstract: 本申请公开一种基于CGH的凸面光栅检测系统及设计方法。该系统的干涉仪中发出的测试光入射至所述第一CGH补偿器上；经第一CGH补偿器相位调制后，将其第一级次衍射光反射至待测凸面光栅；经待测凸面光栅衍射后，待测凸面光栅的工作级次衍射光反射至所述第二CGH补偿器；经第二CGH补偿器相位调制后，其第一级次衍射光的会聚点与标准球面反射镜的曲率中心重合；经标准球面反射镜后，测试光原路返回至所述干涉仪中。测试光与参考光发生干涉，干涉仪能够根据干涉条纹测量该光路的波像差；本申请具有结构简单、易于装调、光能利用率高、测量对象范围广的优点。

公开(公告)号：CN217032971U

公开(公告)日：2022-07-22

申请号：CN202220447617.8

申请日：2022-03-03

Applicant: 苏州大学

Inventor： 王慧全 ,  陈新华 ,  朱嘉诚 ,  沈为民

IPC: G01M11/02

Abstract: 本申请公开一种基于CGH的凸面光栅检测系统。该系统的干涉仪中发出的测试光入射至所述第一CGH补偿器上；经第一CGH补偿器相位调制后，将其第一级次衍射光反射至待测凸面光栅；经待测凸面光栅衍射后，待测凸面光栅的工作级次衍射光反射至所述第二CGH补偿器；经第二CGH补偿器相位调制后，其第一级次衍射光的会聚点与标准球面反射镜的曲率中心重合；经标准球面反射镜后，测试光原路返回至所述干涉仪中。测试光与参考光发生干涉，干涉仪能够根据干涉条纹测量该光路的波像差；本申请具有结构简单、易于装调、光能利用率高、测量对象范围广的优点。