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公开(公告)号：CN116141199A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202211667483.1
申请日：2022-12-23
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种抛光阶段光学元件表面形貌检测装置包括宽带光源；光纤耦合器，用于将探照光，分为第一光源与第二光源；样品臂，用于将第一光源经过样品臂照射到待测光学元件后，生成的带有光学元件信息的样品光，返回至光纤耦合器；载物台，用于放置待测光学元件；可移动支撑台，包括平移台与设置于平移台上的旋转台，用于带动样品臂按照预设方式移动，提供多种扫描路径；参考臂，用于将第二光源经过参考臂，照射到参考反射镜后生成的参考光，返回至光纤耦合器，以便参考光与样品光在光纤耦合器中发生干涉，生成干涉光谱；光谱仪，连接光纤耦合器，获取干涉光谱；上位机，与光谱仪通讯连接，获取干涉光谱进行图像处理，还原出光学元件的表面形貌。
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