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公开(公告)号：CN120065493A
公开(公告)日：2025-05-30
申请号：CN202510318743.1
申请日：2025-03-18
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明提供一种大视场大数值孔径紫外宽波段显微光学系统，涉及光学显微镜技术领域，该系统包括显微物镜，采用同轴折反式结构，依次由显微物镜前组、显微物镜中组和显微物镜后组排列组成；中继系统，用于接收所述显微物镜出射光线并形成平行光束，将虚出瞳中继为实出瞳；成像管镜，用于接收经所述中继系统出射的光线，并将其成像至探测器；本发明显微光学系统的工作波段为250nm至500nm，放大倍率处于25倍至100倍的范围，数值孔径NA大于或等于0.9，视场大于或等于1mm。此外，该系统的视场可通过放大光学系统增大至2mm以上。该系统可用于半导体晶圆检测、基因测序领域、生命科学、工业检测等领域。
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公开(公告)号：CN118210092A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410635968.5
申请日：2024-05-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种宽波段复合超表面光栅及其设计方法，涉及光栅技术领域。本发明提供了一种寻找合适的材料组合，并将光栅一维二元化或二维二元化设计成为宽波段高衍射效率低偏振敏感闪耀光栅的方法，此方法同时适用于透射式和反射式的光栅设计，能够实现在宽波段的高衍射效率和低偏振敏感度，应用于成像光谱仪能够有效提高光谱仪的测量质量。采用本发明的设计方法得到的二元光栅由纳米栅条或正四棱纳米柱与填充材料组成，与现有的锯齿状结构相比便于制作且制作精度高。
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公开(公告)号：CN118210092B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410635968.5
申请日：2024-05-22
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种宽波段复合超表面光栅及其设计方法，涉及光栅技术领域。本发明提供了一种寻找合适的材料组合，并将光栅一维二元化或二维二元化设计成为宽波段高衍射效率低偏振敏感闪耀光栅的方法，此方法同时适用于透射式和反射式的光栅设计，能够实现在宽波段的高衍射效率和低偏振敏感度，应用于成像光谱仪能够有效提高光谱仪的测量质量。采用本发明的设计方法得到的二元光栅由纳米栅条或正四棱纳米柱与填充材料组成，与现有的锯齿状结构相比便于制作且制作精度高。
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公开(公告)号：CN118732248A
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202411085511.8
申请日：2024-08-08
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种显微物镜光学系统，包括沿光轴依次设置的前组、中组和后组，前组用于校正系统场曲和横向色差；中组用于承担光焦度；后组用于校正轴向色差和球差；前组包括依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜；中组包括第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜和第十透镜；后组包括凹面反射镜、弯月透镜和曼金镜。凹面反射镜的中央设有第一圆形开孔，曼金镜后表面外镀有反射膜且曼金镜后表面的反射膜设有第二圆形开孔；后组包括凹面反射镜、弯月透镜和曼金镜。本发明具有更高的数值孔径、更宽的波段和更大的视场范围，且具有更小的中心遮拦，可实现NA达到0.9的大数值孔径和最大1mm的视场范围。
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