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公开(公告)号：CN104342704A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201410557069.4
申请日：2014-10-20
Applicant: 苏州大学
IPC: C23F3/02
Abstract: 一种无氧化剂的碱性铝合金抛光液，按照质量百分比，包括1~5%络合剂、0.5~3%缓蚀剂、0.5~1%表面润滑活性剂、3~20%研磨剂、余量为水以及将抛光液pH调节至8~10的pH调节剂，研磨剂为微米级三氧化二铝和纳米级三氧化二铝的混合物；在液态水中加入表面润滑活性剂和研磨剂，搅拌均匀，加入缓蚀剂和络合剂，搅拌均匀，采用pH调节剂将溶液pH值调节到8-10即得。该抛光液可以大大增强磨料的悬浮性和抛光液的流动性，降低了表面划痕损伤，配合高效络合剂和缓蚀剂，无氧化剂的条件下，获得了材料高速去除速率和平坦化表面质量；抛光效率高，使用寿命长，对抛光机没有严重腐蚀效应；制备方法简单、易于生产，方便操作。
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