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公开(公告)号：CN112475495B
公开(公告)日：2022-06-14
申请号：CN202011284967.9
申请日：2020-11-17
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种跨尺寸微纳结构阵列的制备方法，包括：S1、提供浸入至电解液中的工件作为第一电极，提供削边线电极作为第二电极并设置在工件上方，提供干涉光束调节器并输出多光束激光干涉照射在工件表面；S2、第一电极和第二电极之间供电构成回路，驱动削边线电极相对工件往复运动，工件在削边线电极相应位置处发生电化学溶解或电化学沉积，并形成微纳结构阵列，无需掩模，且解决了现有超短脉冲电源输出功率小的问题，提高了微纳结构阵列的加工精度，无需电解液进行高速流动，提高系统安全性及降低成本，实现金属材料各向异性电化学溶解或电化学沉积，可有效提高沉积层的致密性及结合强度，从而提高具有大深宽比的微纳结构的刚性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111360345A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN202010217325.0
申请日：2020-03-25
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明所涉及的在工件表面形成微结构的加工方法，包括：S1、提供浸入至电解液中的金属材料作为阴极，阴极上形成有贯通该阴极的贯通微结构；S2、提供工件作为阳极，依据阴极上的贯通微结构通过激光-电解复合加工工件，以在工件的表面形成所需要的微结构。在阴极上形成有贯通该阴极的贯通微结构，有效提高了激光-电解复合加工以在工件的表面形成所需要的微结构过程中激光能场和电化学能场的耦合率，从而实现采用低能量密度的激光束便可有效促进材料的电化学溶解速度，以在几乎不影响加工定域性和加工表面质量的同时，提高微细电解加工的加工效率和加工稳定性，且易于实现大面积微结构的柔性制备。
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公开(公告)号：CN111299731A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN202010217579.2
申请日：2020-03-25
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明所涉及的在工件表面形成微结构的加工方法，包括：S1、提供表面具有较小电化学阻抗值的微细棒，高温以使微细棒表面形成具有较大电化学阻抗值的第一微结构，得到线电极；S2、提供插入至电解液中的工件作为阳极，驱动线电极自转并驱动线电极围绕工件旋转，给工件和线电极供电以依据线电极上的第一微结构在工件的表面形成所需要的微结构。使用表面具有较大电化学阻抗值的第一微结构的线电极作为工具电极，以可实现工件表面微结构阵列的柔性、可控制备，特别是实现小口径回转表面、准回转表面微结构阵列的加工，此外，线电极可重复使用，且该加工方法适用于任意由直线扫描得到的曲面。
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公开(公告)号：CN112475495A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：CN202011284967.9
申请日：2020-11-17
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种跨尺寸微纳结构阵列的制备方法，包括：S1、提供浸入至电解液中的工件作为第一电极，提供削边线电极作为第二电极并设置在工件上方，提供干涉光束调节器并输出多光束激光干涉照射在工件表面；S2、第一电极和第二电极之间供电构成回路，驱动削边线电极相对工件往复运动，工件在削边线电极相应位置处发生电化学溶解或电化学沉积，并形成微纳结构阵列，无需掩模，且解决了现有超短脉冲电源输出功率小的问题，提高了微纳结构阵列的加工精度，无需电解液进行高速流动，提高系统安全性及降低成本，实现金属材料各向异性电化学溶解或电化学沉积，可有效提高沉积层的致密性及结合强度，从而提高具有大深宽比的微纳结构的刚性。
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公开(公告)号：CN111299731B
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202010217579.2
申请日：2020-03-25
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明所涉及的在工件表面形成微结构的加工方法，包括：S1、提供表面具有较小电化学阻抗值的微细棒，高温以使微细棒表面形成具有较大电化学阻抗值的第一微结构，得到线电极；S2、提供插入至电解液中的工件作为阳极，驱动线电极自转并驱动线电极围绕工件旋转，给工件和线电极供电以依据线电极上的第一微结构在工件的表面形成所需要的微结构。使用表面具有较大电化学阻抗值的第一微结构的线电极作为工具电极，以可实现工件表面微结构阵列的柔性、可控制备，特别是实现小口径回转表面、准回转表面微结构阵列的加工，此外，线电极可重复使用，且该加工方法适用于任意由直线扫描得到的曲面。
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公开(公告)号：CN111360345B
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202010217325.0
申请日：2020-03-25
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明所涉及的在工件表面形成微结构的加工方法，包括：S1、提供浸入至电解液中的金属材料作为阴极，阴极上形成有贯通该阴极的贯通微结构；S2、提供工件作为阳极，依据阴极上的贯通微结构通过激光‑电解复合加工工件，以在工件的表面形成所需要的微结构。在阴极上形成有贯通该阴极的贯通微结构，有效提高了激光‑电解复合加工以在工件的表面形成所需要的微结构过程中激光能场和电化学能场的耦合率，从而实现采用低能量密度的激光束便可有效促进材料的电化学溶解速度，以在几乎不影响加工定域性和加工表面质量的同时，提高微细电解加工的加工效率和加工稳定性，且易于实现大面积微结构的柔性制备。
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