公开(公告)号：CN110429144B

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN201910739592.1

申请日：2019-08-12

Applicant: 苏州大学 ,  苏州斯特科光电科技有限公司

Inventor： 张程 ,  吴绍龙 ,  李孝峰 ,  刘鉴辉 ,  刘慧敏 ,  俞童

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/108

Abstract: 本发明提供一种基于塔姆等离子的平面近红外光电探测器，包含二氧化硅基底、布拉格反射器和金属薄膜；布拉格反射器和金属薄膜依次设于二氧化硅基底上；布拉格反射器由高折射率薄膜层和低折射率薄膜层由上至下交替设置而成，布拉格反射器与金属薄膜的接触面为高折射率薄膜层且设置为二氧化钛；金属薄膜的顶部设有顶部导电电极，位于顶层的高折射率薄膜层的底部设有栅状底部导电电极。提高了光子吸收率、热电子的输运效率和光电探测器的响应度；并能够通过与金属薄膜相邻的二氧化钛的厚度调节可改变探测器的响应波长和实现多窄带的光电探测；且本发明结构简单，便于生产。

公开(公告)号：CN110429144A

公开(公告)日：2019-11-08

申请号：CN201910739592.1

申请日：2019-08-12

Applicant: 苏州大学 ,  苏州斯特科光电科技有限公司

Inventor： 张程 ,  吴绍龙 ,  刘鉴辉 ,  刘慧敏 ,  俞童

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/108

Abstract: 本发明提供一种基于塔姆等离子的平面近红外光电探测器，包含二氧化硅基底、布拉格反射器和金属薄膜；布拉格反射器和金属薄膜依次设于二氧化硅基底上；布拉格反射器由高折射率薄膜层和低折射率薄膜层由上至下交替设置而成，布拉格反射器与金属薄膜的接触面为高折射率薄膜层且设置为二氧化钛；金属薄膜的顶部设有顶部导电电极，位于顶层的高折射率薄膜层的底部设有栅状底部导电电极。提高了光子吸收率、热电子的输运效率和光电探测器的响应度；并能够通过与金属薄膜相邻的二氧化钛的厚度调节可改变探测器的响应波长和实现多窄带的光电探测；且本发明结构简单，便于生产。

公开(公告)号：CN209981234U

公开(公告)日：2020-01-21

申请号：CN201921298301.1

申请日：2019-08-12

Applicant: 苏州大学

Inventor： 刘鉴辉 ,  刘慧敏 ,  俞童 ,  吴绍龙 ,  张程 ,  李孝峰

IPC: H01L31/0232 ,  H01L31/108

Abstract: 本实用新型提供一种基于塔姆等离子的平面近红外光电探测器，包含二氧化硅基底、布拉格反射器和金属薄膜；布拉格反射器和金属薄膜依次设于二氧化硅基底上；布拉格反射器由高折射率薄膜层和低折射率薄膜层由上至下交替设置而成，布拉格反射器与金属薄膜的接触面为高折射率薄膜层且设置为二氧化钛；金属薄膜的顶部设有顶部导电电极，位于顶层的高折射率薄膜层的底部设有栅状底部导电电极。提高了光子吸收率、热电子的输运效率和光电探测器的响应度；并能够通过与金属薄膜相邻的二氧化钛的厚度调节可改变探测器的响应波长和实现多窄带的光电探测；且本实用新型结构简单，便于生产。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN209087884U

公开(公告)日：2019-07-09

申请号：CN201822171481.9

申请日：2018-12-24

Applicant: 苏州大学

Inventor： 徐玉亭 ,  吴绍龙 ,  刘鉴辉 ,  刘慧敏 ,  俞童 ,  习雪 ,  眭博闻 ,  王紫薇

IPC: H01L31/101 ,  H01L31/0224

Abstract: 本实用新型属于光电探测和传感技术领域，为解决现有技术中基于金属吸收的光探测器光吸收不高和吸收波段调制困难的问题，提出一种用于制作红外探测器的复合结构，利用金属微纳米孔阵列层/半导体薄膜/金属薄膜复合结构构筑基于金属吸收的热电子红外探测器；通过激发顶层金属微纳米孔阵列的局域等离子共振、底层金属薄膜的表面等离激元，以及将两者耦合起来形成的杂化型等离子共振来极大增加金属对入射光的吸收，并将上下两层金属吸收光产生的热载流子均注入到中间半导体层，从而得到可观的光响应度；通过调控顶层微纳米孔的周期和直径、中间半导体层的厚度和折射率可以实现从近红外到中红外的可调光谱吸收。