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公开(公告)号:CN110139907A
公开(公告)日:2019-08-16
申请号:CN201780081605.X
申请日:2017-12-26
Applicant: 花王株式会社
IPC: C09K3/14 , B24B37/00 , C09G1/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明在一个实施方式中提供一种可提升研磨速度的氧化铈研磨粒。本发明在一个实施方式中涉及一种用于研磨剂的氧化铈研磨粒,并且通过升温还原法(Temperature-Programmed-Reaction)测定的300℃以下的水生成量以氧化铈研磨粒的每单位表面积计为8mmol/m2以上。
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