Patent search ap:("芬兰国家技术研究中心股份公司") AND inv:"海基·萨里" Page 1

1.

发明公开
电容控制的法布里-佩罗干涉仪审中-实审

公开(公告)号：CN116249877A

公开(公告)日：2023-06-09

申请号：CN202180064675.0

申请日：2021-08-24

Applicant: 芬兰国家技术研究中心股份公司

Inventor： 海基·萨里 , 马尔蒂·布隆贝里 , 萨里·埃洛马

IPC: G01J3/26

Abstract: 本公开描述了一种电容控制的法布里‑佩罗干涉仪，该干涉仪包括：第一镜面层，具有嵌入在第一绝缘层中的第一金属薄膜层；以及第二镜面层，具有嵌入在第二绝缘层内的第二金属薄膜层。第一金属薄膜层中的控制区域与第二金属薄膜层中的控制区域在致动方向上至少部分地对齐。干涉仪还包括第一控制电极和第一介电层，并且第一介电层位于第一控制电极与第一金属薄膜层的控制区域的至少一部分之间。

Patent Agency Ranking