公开(公告)号：CN119072613A

公开(公告)日：2024-12-03

申请号：CN202380035412.6

申请日：2023-04-14

Applicant: 芬兰国家技术研究中心股份公司

Inventor： 海基·萨利 ,  哈里·奥亚宁 ,  安蒂·纳斯拉

IPC: G01J3/02 ,  G01J3/10 ,  G01J3/26 ,  G01J3/28 ,  G01J3/12

Abstract: 一种对光谱成像装置(500)进行校准的方法包括：‑提供具有第一校准光谱(IMPBF)的第一校准光(LB1CAL1)，该第一校准光谱在已知波长(λ01，λ02，λ03)处具有多个稳定的光谱峰，‑将第一校准光(LB1CAL1)耦合至光谱成像装置(500)，‑在对光谱成像装置(500)的法布里‑珀罗干涉仪(FPI1)的控制参数(Vd)进行扫描期间，通过记录第一检测器像素信号(SR)获得第一校准光(LB1CAL1)的第一测量轮廓(MSPEC1)，‑在对控制参数(Vd)进行扫描期间，通过记录第二检测器像素信号(SG)来获得第一校准光(LB1CAL1)的第二测量轮廓，‑通过使用第一检测器像素(P0)的先前测量的光谱量子效率(QR)、通过使用先前测量的光谱透射率函数(TFP,PRE)以及通过使用第一校准数据(fk，gk，hk)，根据第一校准光谱(IMPBF)确定第一模拟轮廓(SIMSPEC1)，‑通过使用第二检测器像素(P1)的先前测量的光谱量子效率(QR)、通过使用先前测量的光谱透射率函数(TFP,PRE)以及通过使用第一校准数据(fk，gk，hk)，根据第一校准光谱(IMPBF)确定第二模拟轮廓，以及‑对第一校准数据(fk，gk，hk)进行修改，直到模拟轮廓(SIMSPEC1)根据一个或更多个匹配标准与对应的测量轮廓(MSPEC1)匹配。