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公开(公告)号：CN119698685A
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202380059418.7
申请日：2023-09-19
Applicant: 芝浦机械电子株式会社
IPC: H01L21/306 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种多个夹紧销可同步地将基板稳定地定位于旋转中心的基板处理装置。实施方式的基板处理装置1具有：夹紧杆12，随着绕水平方向的轴的转动，使至少三个夹紧销11在远离基板W的外周端We的打开位置和与外周端We相接并对基板W进行保持的关闭位置之间移动；升降环15，随着升降使夹紧杆12转动；旋转体30，使由夹紧销11保持的基板W旋转；旋转机构40，使旋转体30绕轴Ax旋转；升降机构50，使升降环15升降；施力构件56，对夹紧杆12向处于关闭位置的方向施力；同步环61，设置成能够绕轴Ax转动且无法升降；转换机构62，将升降环15的升降转换为同步环61的转动，并且将升降环15的姿势维持为水平状态；以及供给部70，向基板W供给处理液。
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