结构化衬底、制造该结构化衬底的方法和该结构化衬底的用途

    公开(公告)号:CN119452278A

    公开(公告)日:2025-02-14

    申请号:CN202380047911.7

    申请日:2023-08-17

    Abstract: 本发明涉及一种结构化衬底(1),优选地应用于微系统技术,例如,用于微光学系统,包括:平坦衬底(10),优选地包括玻璃材料并具有两个相对的平坦表面(12、14);至少一个通孔(20),其贯穿所述平坦衬底(10)的所述材料,从而形成围绕所述通孔(20)并连接所述两个相对的平坦表面(12、14)的内壁表面;以及光吸收和/或反射涂层(30),其覆盖所述通孔(20)的所述内壁表面的至少部分区域,其中所述两个相对的平坦表面(12、14)的一个或两个是无所述涂层(30)的。所述内壁表面的算术平均粗糙度为介于0.2μm和2μm之间,和/或所述涂层(30)的算术平均粗糙度为介于0.05μm和2μm之间。本发明还涉及一种制造所述结构化衬底的方法以及所述结构化衬底的用途。

    光隔离阵列
    6.
    发明公开
    光隔离阵列 审中-实审

    公开(公告)号:CN116569085A

    公开(公告)日:2023-08-08

    申请号:CN202180075965.5

    申请日:2021-11-16

    Abstract: 本公开涉及光隔离阵列(也可称为“光管”或“光管阵列”),所述光隔离阵列能够使光从一个位置(例如透镜)到另一个位置(例如光电探测器二极管(每个光电探测器二极管称为“PD”)的阵列)的传输效率和隔离度提高。光隔离阵列可以提供输入光的光学隔离,并且能够消除串扰,从而通过提高进入信号的对比度来提高分辨率。当在户外设备中使用时,光隔离阵列还能够保护PD免受污染。

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