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公开(公告)号:CN101300198A
公开(公告)日:2008-11-05
申请号:CN200680040795.2
申请日:2006-10-02
Applicant: 肖特股份公司
Abstract: 本发明涉及一种用于对辐射敏感的传感器的低辐射覆盖玻璃,特别是在半导体技术中,所述覆盖玻璃具有低的α固有辐射,包括选自铝硅酸盐玻璃、铝硼硅酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃,特别是不含碱金属的硼硅酸盐玻璃的玻璃组成成分,具有在>0.1-10重量%,特别是1-8重量%范围内的TiO2含量。
公开(公告)号:CN101300198A
公开(公告)日:2008-11-05
申请号:CN200680040795.2
申请日:2006-10-02
Applicant: 肖特股份公司
Abstract: 本发明涉及一种用于对辐射敏感的传感器的低辐射覆盖玻璃,特别是在半导体技术中,所述覆盖玻璃具有低的α固有辐射,包括选自铝硅酸盐玻璃、铝硼硅酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃,特别是不含碱金属的硼硅酸盐玻璃的玻璃组成成分,具有在>0.1-10重量%,特别是1-8重量%范围内的TiO2含量。