公开(公告)号：CN101128393A

公开(公告)日：2008-02-20

申请号：CN200680005916.X

申请日：2006-03-03

申请人： 联合太阳能硅有限及两合公司

发明人： R·贝特霍尔德 ,  C·拜尔 ,  A·米勒 ,  C·佩措尔德 ,  T·西尔 ,  U·辛格利尔 ,  R·松嫩沙因 ,  G·齐根巴尔格

IPC分类号： C01B33/02 ,  C01B33/027 ,  B01J19/24 ,  B01J15/00

CPC分类号： C01B33/027 ,  B01J4/001 ,  B01J15/005 ,  B01J19/02 ,  B01J19/2495 ,  B01J19/26 ,  B01J23/20 ,  B01J23/24 ,  B01J35/04 ,  B01J2219/0009 ,  B01J2219/00135 ,  B01J2219/00155 ,  B01J2219/0254 ,  B01J2219/0263 ,  B01J2219/0272 ,  B01J2219/0295 ,  C01B33/029 ,  C30B25/08

摘要： 在分解含硅气体(2)的反应器(1)中，在反应器(6)内至少一条气体进料管线(12)与内壁(4)之间设置至少一个催化活性网(23)，以避免硅沉积在反应容器(3)的内壁(4)上。该网(23)加速了气体(2)热分解，并减少了硅沉积在内壁(4)上。还描述了利用根据本发明的反应器(1)制备硅的方法，和所制得的硅在光电技术中的用途。