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公开(公告)号：CN102933944B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201180015634.9
申请日：2011-03-24
Applicant: 耶达研究开发公司
IPC: G01J4/04
Abstract: 提出了一种用于测量光束的偏振的系统和方法。该系统被配置成并且可操作地用于确定沿着输入光束的横截面的偏振式样，并且该系统包括光学系统和像素矩阵。光学系统包括偏振分束组件，偏振分束组件被配置成并且可操作地用于将输入光束分成预定数目的彼此之间具有预定偏振关系的光束分量，偏振分束组件包括第一偏振分束器和双折射元件，第一偏振分束器位于输入光束的光路中，用于将所述输入光束分成彼此之间具有特定偏振关系的第一多个光束分量，双折射元件位于所述第一多个光束分量的光路中，用于将第一多个光束分量中的每个光束分量分成一对具有寻常偏振和非寻常偏振的光束，由此生成所述预定数目的输出光束分量。像素矩阵位于所述输出光束分量的基本上不相交的光路中，并且生成分别表示所述输出光束分量内的强度分布的输出数据片，包含在所述数据片中的数据表示沿着输入光束的横截面的偏振式样。
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公开(公告)号：CN102933944A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201180015634.9
申请日：2011-03-24
Applicant: 耶达研究开发公司
IPC: G01J4/04
Abstract: 提出了一种用于测量光束的偏振的系统和方法。该系统被配置成并且可操作地用于确定沿着输入光束的横截面的偏振式样，并且该系统包括光学系统和像素矩阵。光学系统包括偏振分束组件，偏振分束组件被配置成并且可操作地用于将输入光束分成预定数目的彼此之间具有预定偏振关系的光束分量，偏振分束组件包括第一偏振分束器和双折射元件，第一偏振分束器位于输入光束的光路中，用于将所述输入光束分成彼此之间具有特定偏振关系的第一多个光束分量，双折射元件位于所述第一多个光束分量的光路中，用于将第一多个光束分量中的每个光束分量分成一对具有寻常偏振和非寻常偏振的光束，由此生成所述预定数目的输出光束分量。像素矩阵位于所述输出光束分量的基本上不相交的光路中，并且生成分别表示所述输出光束分量内的强度分布的输出数据片，包含在所述数据片中的数据表示沿着输入光束的横截面的偏振式样。
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