基于真空的泄漏检测
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116067589A

    公开(公告)日:2023-05-05

    申请号:CN202211337371.X

    申请日:2022-10-28

    IPC分类号: G01M3/34

    摘要: 一种用于检测外壳中的泄漏的系统和方法,该外壳具有端口并旨在用于防止液体材料交换到外壳中或从外壳中交换出。真空泵联接到端口,并且外壳承受施加的真空压力。将承受施加的真空压力时的外壳内的质量和压力的测量结果与预期值进行比较,以检测泄漏。在一些实施例中,对外壳的阀门的物理布置进行测量并与预期值进行比较,以检测泄漏。