公开(公告)号：CN102288787B

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201110125993.1

申请日：2011-05-10

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： D·C·迈泽尔 ,  M·恩格泽

IPC: G01P15/12

Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器及相应的测量方法。本发明提供一种微机械传感器，该传感器包括至少一个基底和一个通过至少一个扭转梁(12)悬挂在基底上的振动质量块(11)，用于测量作用在所述振动质量块(11)上的物理量，其中，为了形成压阻材料，至少是所述至少一个扭转梁(12)的整个块体都被掺杂。本发明还提供一种借助于这种传感器测量惯性量或力的方法，在所述方法中，通过检测所述至少一个扭转梁(12)的电阻变化，确定作用在所述振动质量块(11)上的惯性量或力的大小，其中，为了检测电阻变化考虑所述扭转梁(12)的整个横截面。

公开(公告)号：CN102288787A

公开(公告)日：2011-12-21

申请号：CN201110125993.1

申请日：2011-05-10

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： D·C·迈泽尔 ,  M·恩格泽

IPC: G01P15/12

CPC classification number: G01P15/123 ,  G01P2015/0828 ,  G01P2015/086

Abstract: 本发明涉及一种微机械传感器及相应的测量方法。本发明提供一种微机械传感器，该传感器包括至少一个基底和一个通过至少一个扭转梁(12)悬挂在基底上的振动质量块(11)，用于测量作用在所述振动质量块(11)上的物理量，其中，为了形成压阻材料，至少是所述至少一个扭转梁(12)的整个块体都被掺杂。本发明还提供一种借助于这种传感器测量惯性量或力的方法，在所述方法中，通过检测所述至少一个扭转梁(12)的电阻变化，确定作用在所述振动质量块(11)上的惯性量或力的大小，其中，为了检测电阻变化考虑所述扭转梁(12)的整个横截面。