用于检测两种或更多气体种类的方法

    公开(公告)号:CN102822667A

    公开(公告)日:2012-12-12

    申请号:CN201080066052.9

    申请日:2010-12-20

    CPC classification number: G01N27/227 G01N27/414

    Abstract: 本发明涉及一种用于借助基于场效应的气体传感器检测在气体混合物中的两种或者更多种气体种类的方法,所述气体传感器具有由气体电极与对应电极单元组成的气体电极-对应电极系统。为了能够检测多种气体种类,施加具有不同频率的交流电压或交流电流,由此气敏电极对气体种类是敏感的。所得的交流电流或者所得的交流电压在此在气体电极-对应电极系统上被测量,并且由所得的交流电流或者所得的交流电压来确定气体种类的存在和/或者浓度。

    用于检测测量介质中的至少一种气态分析物的方法和气体传感器设备及其制造方法

    公开(公告)号:CN107250783B

    公开(公告)日:2020-06-02

    申请号:CN201580076605.1

    申请日:2015-12-08

    Abstract: 本发明涉及一种用于制造用于检测测量介质(M)中的至少一种气态分析物的气体传感器设备(100)的方法。该方法包括以下步骤:在使用至少一种分离工艺和至少一种涂层工艺的情况下加工第一半导体衬底(101)和第二半导体衬底(102),以便在第一半导体衬底(101)和第二半导体衬底(102)中产生凹槽区段、固体电解质层和电极。该方法还具有以下步骤:将第一半导体衬底(101)和第二半导体衬底(102)拼接,以便在第一半导体衬底(101)和第二半导体衬底(102)之间产生用于调节测量介质(M)的气体组成的调节腔(111)、用于检测气态分析物的检测腔(112)和用于控制测量介质(M)在调节腔(111)和检测腔(112)之间的扩散的扩散区段(113)。

    具有两个泵单元的用于测量氧化氮的固体电解质传感器

    公开(公告)号:CN102639995A

    公开(公告)日:2012-08-15

    申请号:CN201080055823.4

    申请日:2010-10-21

    CPC classification number: G01N27/419 G01N7/00 G01N27/406 G01N27/409 G01N27/41

    Abstract: 提出一种用于检测测量气体室(112)中的至少一种气体成分的份额的方法。在此使用至少一个传感器元件(110)。该传感器元件(110)具有至少一个用于使所述气体成分浓缩的氧还原-泵单元(127)。此外,该传感器元件(110)具有至少一个布置在所述氧还原-泵单元(127)后面的、设有至少两个泵电极(128、150、154)的泵单元(152)。此外,所述传感器元件(110)具有至少一个气密的腔室(148)。所述泵电极(128、150、154)中的至少一个泵电极能够用来自所述测量气体室(112)中的通过所述氧还原-泵单元(127)浓缩的气体来加载。所述泵电极(128、150、154)中的至少另一个泵电极布置在所述气密的腔室(148)中。此外,至少一个测量电极(150、154)布置在所述气密的腔室(148)中。所述氧还原-泵单元(127)和泵单元(152)电流隔离。所述方法具有以下阶段:初始化阶段,其中在该初始化阶段中通过泵送在所述气密的腔室(148)中建立或者重建所定义的初始状态;以及浓缩阶段,在该浓缩阶段中通过经由所述泵单元(152)进行的泵送来使一定量的氧气浓缩在所述气密的腔室(148)中,其中所述氧气的量代表着气体成分在测量气体中的份额的尺度。从所述测量电极(150、154)的电位的电位曲线中推断出所述气体成分的份额。

    具有两个泵单元的用于测量氧化氮的固体电解质传感器

    公开(公告)号:CN102639995B

    公开(公告)日:2015-09-09

    申请号:CN201080055823.4

    申请日:2010-10-21

    CPC classification number: G01N27/419 G01N7/00 G01N27/406 G01N27/409 G01N27/41

    Abstract: 提出一种用于检测测量气体室(112)中的至少一种气体成分的份额的方法。在此使用至少一个传感器元件(110)。该传感器元件(110)具有至少一个用于使所述气体成分浓缩的氧还原-泵单元(127)。此外,该传感器元件(110)具有至少一个布置在所述氧还原-泵单元(127)后面的、设有至少两个泵电极(128、150、154)的泵单元(152)。此外,所述传感器元件(110)具有至少一个气密的腔室(148)。所述泵电极(128、150、154)中的至少一个泵电极能够用来自所述测量气体室(112)中的通过所述氧还原-泵单元(127)浓缩的气体来加载。所述泵电极(128、150、154)中的至少另一个泵电极布置在所述气密的腔室(148)中。此外,至少一个测量电极(150、154)布置在所述气密的腔室(148)中。所述氧还原-泵单元(127)和泵单元(152)电流隔离。所述方法具有以下阶段:初始化阶段,其中在该初始化阶段中通过泵送在所述气密的腔室(148)中建立或者重建所定义的初始状态;以及浓缩阶段,在该浓缩阶段中通过经由所述泵单元(152)进行的泵送来使一定量的氧气浓缩在所述气密的腔室(148)中,其中所述氧气的量代表着气体成分在测量气体中的份额的尺度。从所述测量电极(150、154)的电位的电位曲线中推断出所述气体成分的份额。

    用于测量多种气体种类的固体电解质气体传感器

    公开(公告)号:CN102334027A

    公开(公告)日:2012-01-25

    申请号:CN201080009461.5

    申请日:2010-02-11

    CPC classification number: G01N27/419

    Abstract: 本发明涉及一种用于固体电解质气体传感器的传感器元件,该传感器元件具有气密的泵室、加热器和设置在所述泵室中的第一泵电极以及至少一个第二泵电极,在扩散栅栏的位置上设置有独立泵单元作为进气限制。所述独立泵单元具有外部的独立泵电极和内部的独立泵电极,所述独立泵电极从外部通过可微调的电阻接触或短接。

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