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1.

发明授权
成膜装置有权

公开(公告)号：CN108070904B

公开(公告)日：2023-01-13

申请号：CN201711130137.9

申请日：2017-11-15

Applicant: 纽富来科技股份有限公司(JP)

Inventor： 铃木邦彦 , 池谷尚久 , 矢岛雅美 , 原一都 , 藤林裕明 , 松浦英树 , 铃木克己

IPC: C30B25/02 , C23C16/44

Abstract: 本发明的实施方式的成膜装置具备：成膜室，可收容基板；气体供给部，设置在成膜室的上部，具有向基板的成膜面上供给气体的多个喷嘴；加热器，对基板进行加热；以及第一保护罩，在与气体供给部的多个喷嘴相对应的位置具有多个开口部。

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