公开(公告)号：CN1735961A

公开(公告)日：2006-02-15

申请号：CN200380108218.9

申请日：2003-10-24

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 堀田慎 ,  月原浩一 ,  大岛朗文 ,  水泽卓 ,  阿部正昭

IPC: H01L21/268 ,  H01L21/20

CPC classification number: H01L21/02675 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/08 ,  B23K26/082 ,  H01L21/2026 ,  H01L21/268

Abstract: 本发明是用于激光退火装置的光照射装置，具备控制部(9)，通过该控制部，在旋转轴(7a)的旋转从右旋向左旋变化后检测出旋转角成为+β时，使固态激光器(4)的脉冲导通，接着在检测出旋转角成为－β时，使固态激光器的脉冲截止，在旋转轴的旋转从左旋向右旋变化后检测出旋转角成为－β时使固态激光器的脉冲导通，接着在检测出旋转角成为+β时使固态激光器的脉冲截止。控制部还使可动平台(3)沿恒速移动方向恒速移动，从恒速移动方向的一端到另一端对退火对象物(2)照射光束后，使可动平台沿定距移动方向仅移动规定距离，以均匀的能量照射被照射物的整个面。