公开(公告)号：CN1157764C

公开(公告)日：2004-07-14

申请号：CN00802961.X

申请日：2000-11-21

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 町田晓夫 ,  德哈拉姆·P·侯赛因 ,  碓井节夫

IPC: H01L21/20 ,  H01L29/786 ,  H01L27/04 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L29/78603 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02686 ,  H01L27/1281 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/78606 ,  H01L29/78675

Abstract: 公开了一种无裂缝并且具有优异功能特性的功能器件及其制造方法。在有机材料例如聚对苯二甲酸乙二醇酯制成的衬底(11)上，按照以下顺序形成低温软化层(12)和耐热层(13)，在其上形成多晶硅的功能层(14)。通过激光束照射使作为前体层的非晶硅层晶化，形成功能层(14)。当施加激光束时，热量传导到衬底(11)，衬底(11)发生膨胀。但是，因衬底(11)和功能层(14)之间的热膨胀系数差引起的应力被低温软化层(12)吸收，以致功能层(14)不产生裂缝和剥离。低温软化层(12)最好由含有丙烯酸树脂的聚合物材料制成。通过在衬底(11)和功能层(14)之间适当地插入金属层和耐热层，能够照射更高强度的激光束。

公开(公告)号：CN1337063A

公开(公告)日：2002-02-20

申请号：CN00802961.X

申请日：2000-11-21

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 町田晓夫 ,  德哈拉姆·P·侯赛因 ,  碓井节夫

IPC: H01L21/20 ,  H01L29/786 ,  H01L27/04 ,  H01L31/04

CPC classification number: H01L29/78603 ,  H01L21/02422 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02686 ,  H01L27/1281 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/78606 ,  H01L29/78675

Abstract: 公开了一种无裂缝并且具有优异功能特性的功能器件及其制造方法。在有机材料例如聚对苯二甲酸乙二醇酯制成的衬底(11)上,按照以下顺序形成低温软化层(12)和耐热层(13),在其上形成多晶硅的功能层(14)。通过激光束照射使作为前体层的非晶硅层晶化,形成功能层(14)。当施加激光束时,热量传导到衬底(11),衬底(11)发生膨胀。但是,因衬底(11)和功能层(14)之间的热膨胀系数差引起的应力被低温软化层(12)吸收,以致功能层(14)不产生裂缝和剥离。低温软化层(12)最好由含有丙烯酸树脂的聚合物材料制成。通过在衬底(11)和功能层(14)之间适当地插入金属层和耐热层,能够照射更高强度的激光束。