公开(公告)号：CN101488511B

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN200910001001.7

申请日：2009-01-16

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 小林悠作 ,  渡部浩司 ,  林利彦

IPC: H01L27/146 ,  H01L21/70 ,  H01L21/3205

Abstract: 本发明公开了固体摄像装置及其制造方法。该固体摄像装置包括光接收像素部、黑电平基准像素部、含有第一～第四金属布线层的多层布线部、第一遮光膜、第二遮光膜、第三遮光膜和第四遮光膜。将第一金属布线层中的一些第一金属布线以彼此隔开预定距离并按照多行布置在黑电平基准像素部上方，形成第一遮光膜；将第二金属布线层中的一些第二金属布线布置在这些第一金属布线之间且位于上方，形成第二遮光膜；将第三金属布线层中的一些第三金属布线在垂直于第二遮光膜的方向上以彼此隔开预定距离并按照多行布置在黑电平基准像素部上方，形成第三遮光膜；并且将第四金属布线层中的一些第四金属布线布置在这些第三金属布线之间且位于上方，形成第四遮光膜。

公开(公告)号：CN101488511A

公开(公告)日：2009-07-22

申请号：CN200910001001.7

申请日：2009-01-16

Applicant: 索尼株式会社

Inventor： 小林悠作 ,  渡部浩司 ,  林利彦

IPC: H01L27/146 ,  H01L21/70 ,  H01L21/3205

Abstract: 本发明公开了固体摄像装置及其制造方法。该固体摄像装置包括光接收像素部、黑电平基准像素部、含有第一～第四金属布线层的多层布线部、第一遮光膜、第二遮光膜、第三遮光膜和第四遮光膜。将第一金属布线层中的一些第一金属布线以彼此隔开预定距离并按照多行布置在黑电平基准像素部上方，形成第一遮光膜；将第二金属布线层中的一些第二金属布线布置在这些第一金属布线之间且位于上方，形成第二遮光膜；将第三金属布线层中的一些第三金属布线在垂直于第二遮光膜的方向上以彼此隔开预定距离并按照多行布置在黑电平基准像素部上方，形成第三遮光膜；并且将第四金属布线层中的一些第四金属布线布置在这些第三金属布线之间且位于上方，形成第四遮光膜。