公开(公告)号：CN100410723C

公开(公告)日：2008-08-13

申请号：CN200610079421.3

申请日：2006-01-28

Applicant: 精工爱普生株式会社 ,  思泰克株式会社

Inventor： 中村亮介 ,  郑昌镐

IPC: G02B26/00 ,  G01J3/26

Abstract: 本发明提供一种可防止从可变波长滤光器发射出的光衰减且相对于各种波长的光可进行波长分离的可变波长滤光器及其制造方法。其特征在于，具备：具有第一凹部(211)的固定基板(2)；与具备具有开口部分(311)的可动部(31)的固定基板(2)接合的可动基板(3)；用于覆盖开口部分(311)并接合到可动部(31)的透光基板(4)；在固定基板(2)上设置的固定反射膜(200)；在透光基板(4)上设置的隔开干涉用间隙(21)与固定反射膜(200)相对配置的可动反射膜(210)；通过相对于固定基板(2)改变可动部(31)的位置，来改变干涉用间隙(21)的间隔的驱动部，构成为：在固定反射膜(200)和可动反射膜(210)之间重复进行反射、且可向外部发射出与干涉用间隙21的间隔相对应的波长的干涉光。

公开(公告)号：CN1841119A

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：CN200610079421.3

申请日：2006-01-28

Applicant: 精工爱普生株式会社 ,  思泰克株式会社

Inventor： 中村亮介 ,  郑昌镐

IPC: G02B26/00 ,  G01J3/26

Abstract: 本发明提供一种可防止从可变波长滤光器发射出的光衰减且相对于各种波长的光可进行波长分离的可变波长滤光器及其制造方法。其特征在于，具备：具有第一凹部(211)的固定基板(2)；与具备具有开口部分(311)的可动部(31)的固定基板(2)接合的可动基板(3)；用于覆盖开口部分(311)并接合到可动部(31)的透光基板(4)；在固定基板(2)上设置的固定反射膜(200)；在透光基板(4)上设置的隔开干涉用间隙(21)与固定反射膜(200)相对配置的可动反射膜(210)；通过相对于固定基板(2)改变可动部(31)的位置，来改变干涉用间隙(21)的间隔的驱动部，构成为：在固定反射膜(200)和可动反射膜(210)之间重复进行反射、且可向外部发射出与干涉用间隙21的间隔相对应的波长的干涉光。