公开(公告)号：CN1715270A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200510067080.3

申请日：2005-04-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 福岛均 ,  泷口宏志 ,  下田达也 ,  增田贵史 ,  理查德·詹姆士·布什比 ,  斯蒂芬·埃文 ,  J·P·杰亚德万 ,  凯文·克里奇利

IPC: C07D207/46 ,  G03F7/004

CPC classification number: C07D207/46 ,  B05D1/185 ,  B05D5/083 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  G03C1/73 ,  G03F7/039 ,  G03F7/165

Abstract: 本发明提供了一种形成薄膜图案的方法，其中通过采用将含有以下化合物的液滴喷在具有功能部分的固相表面上的工序，可以容易地形成微细的膜图案，上述化合物具有当被波长长的紫外光照射时发生分解的结构和具备疏水性或/和疏油性的结构。