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发明公开
可变波长干扰滤波器审中-实审

公开(公告)号：CN118732252A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202410360196.9

申请日：2024-03-27

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高木健吾 , 宫下刚

IPC: G02B26/00 , G02B26/04 , G01J3/26 , G02B5/28 , G02B5/08

Abstract: 本发明提供一种可变波长干扰滤波器，相对于可动部的平面尺寸，能够减小可变波长干扰滤波器整体的相对尺寸。可变波长干扰滤波器(1)具备第一基板(10)、与第一基板(10)对置的第二基板(20)、设于第一基板(10)的第一反射膜(31)以及设于第二基板(20)并隔着间隙(G)与第一反射膜(31)对置的第二反射膜(32)。第二基板(20)包括在Z方向具有均匀的厚度的光阑基板(21)和与光阑基板(21)接合的支承基板(22)，支承基板(22)包括与第一反射膜(31)及第二反射膜(32)重合的可动部(221)和沿着第二基板(20)的外周缘设置的支承部(222)，在可动部(221)与支承部(222)之间设有供光阑基板(21)露出的孔部(223)。

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