公开(公告)号：CN1885135A

公开(公告)日：2006-12-27

申请号：CN200610094632.4

申请日：2006-06-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 岩田裕二 ,  长坂学

IPC: G02F1/1337

CPC classification number: B41J11/002 ,  H01L51/0005

Abstract: 本发明的目的在于，通过在将功能液滴喷出到基板上的涂敷工序和使喷出到基板上的功能液滴干燥的干燥工序之间，以基板载置于同一载物台的状态使从涂敷到干燥的速度加快，并根据需要使所述涂敷/干燥工序重复一次以上，来防止基板上的功能液滴的“上渗”，并防止基板的破损。在步骤S8中判断图案是否完成。在图案未完成的情况下，通过作为载物台移动工序的步骤S9，使载物台(5)移动到描绘单元(3)下方的规定位置。返回到步骤S3，从功能液滴喷头(11)喷出功能液滴(10)，在基板(50)上制作图案。从而，在图案完成前至少重复进行一次以上该处理。另外，当图案完成时，从载物台(5)取下基板(50)，结束作业。

公开(公告)号：CN100498473C

公开(公告)日：2009-06-10

申请号：CN200610094632.4

申请日：2006-06-20

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 岩田裕二 ,  长坂学

IPC: G02F1/1337

CPC classification number: B41J11/002 ,  H01L51/0005

Abstract: 本发明的目的在于，通过在将功能液滴喷出到基板上的涂敷工序和使喷出到基板上的功能液滴干燥的干燥工序之间，以基板载置于同一载物台的状态使从涂敷到干燥的速度加快，并根据需要使所述涂敷/干燥工序重复一次以上，来防止基板上的功能液滴的“上渗”，并防止基板的破损。在步骤S8中判断图案是否完成。在图案未完成的情况下，通过作为载物台移动工序的步骤S9，使载物台(5)移动到描绘单元(3)下方的规定位置。返回到步骤S3，从功能液滴喷头(11)喷出功能液滴(10)，在基板(50)上制作图案。从而，在图案完成前至少重复进行一次以上该处理。另外，当图案完成时，从载物台(5)取下基板(50)，结束作业。