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公开(公告)号：CN117767899A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311240189.7
申请日：2023-09-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02
Abstract: 本发明提供器件的制造方法，能够抑制谐振频率的偏差。一种器件的制造方法，该器件具备：元件基板，其具有元件、用于驱动元件的元件电极、配置于元件的周围的框部、以及配置于框部并与元件电极连接的电极盘；以及支承基板，其与元件基板的一面侧接合，该器件的制造方法包括如下工序：在框部的另一面侧和元件的另一面侧形成保护膜，其中，该保护膜对蚀刻液具有耐受性，且具有元件的外形与框部之间的第一开口部以及电极盘上的第二开口部；以及利用蚀刻液通过第一开口部对支承基板进行蚀刻，在元件与支承基板之间形成空间。
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