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公开(公告)号：CN102214787A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN201110071551.3
申请日：2011-03-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/053 , H01L41/22 , B41J2/135 , B41J2/045
CPC classification number: B41J2/14233 , H01L41/0973 , H01L41/332 , Y10T29/42
Abstract: 本发明涉及压电元件及其制造方法、压电执行元件、液滴喷射头及装置。用于实现保护膜与压电体层之间的密接性提高了的压电元件等。本发明涉及的压电元件具备：在基板上形成的第1电极、在上述第1电极上形成的压电体层、在上述压电体层上形成的第2电极、和至少覆盖上述压电体层的侧面的保护膜，上述压电体层的上述侧面具有沿着从上述第2电极朝向上述第1电极的方向延伸的多个槽。
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公开(公告)号：CN102222762A
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN201110077424.4
申请日：2011-03-24
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/047 , H01L41/08 , H01L41/22 , B41J2/045 , B41J2/135
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2202/11 , H01L41/0478 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/332
Abstract: 本发明涉及压电元件及其制造方法、压电致动器、液体喷射头。该压电元件具有由第一电极和第二电极夹持的压电体层，第一电极包括：第一导电层，其具有在压电体层侧的第一面；和第二导电层，其被形成于第一面上，并具有在第一面侧的第二面，在自第一面的法线方向观察，将由相互重叠的第一电极、压电体层和第二电极所构成的部分作为驱动部时，第二导电层的至少一部分，被配置于比驱动部内的第一面的外周边靠内侧，第二面的面积比驱动部内的第一面的面积小，第二导电层以镍酸镧为主要成分。从而，提供了具有高可靠性的压电元件、压电致动器，液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件的制造方法等。
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公开(公告)号：CN111799355B
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202010236725.6
申请日：2020-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 发光装置、发光装置的制造方法和投影仪。提供能够抑制相邻的柱状部接触的发光装置。发光装置具有：基板；以及层叠体，其设置于所述基板，所述层叠体具有多个柱状部，所述柱状部包含具有纤锌矿型的晶体构造的物质，在从所述层叠体的层叠方向观察的俯视观察时，多个所述柱状部以正方格子或长方格子进行配置，穿过相邻的所述柱状部的中心的直线相对于位于相邻的所述柱状部的中心之间的所述柱状部的m面倾斜，相邻的所述柱状部的顶点未配置于所述直线上。
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公开(公告)号：CN111799355A
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN202010236725.6
申请日：2020-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 发光装置、发光装置的制造方法和投影仪。提供能够抑制相邻的柱状部接触的发光装置。发光装置具有：基板；以及层叠体，其设置于所述基板，所述层叠体具有多个柱状部，所述柱状部包含具有纤锌矿型的晶体构造的物质，在从所述层叠体的层叠方向观察的俯视观察时，多个所述柱状部以正方格子或长方格子进行配置，穿过相邻的所述柱状部的中心的直线相对于位于相邻的所述柱状部的中心之间的所述柱状部的m面倾斜，相邻的所述柱状部的顶点未配置于所述直线上。
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