公开(公告)号：CN101498856A

公开(公告)日：2009-08-05

申请号：CN200910003725.5

申请日：2009-02-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 石塚博孝 ,  片上悟

IPC: G02F1/1335

CPC classification number: G02F1/133516

Abstract: 提供一种通过根据溶剂的蒸发的容易度控制喷出液状体的容纳部的大小，从而形成厚度均匀且高品质的薄膜的方法。在本发明的薄膜形成方法中，一边使多个喷嘴(160)和基板主体(41)相对地进行扫描，一边从喷嘴喷出在溶剂中溶解或分散了薄膜的形成材料的液状体(L)，对基板主体上设定的有效区域所包含的多个规定区域(78)分别配置液状体(L)来形成薄膜，包括：在各规定区域的周围设置隔壁(73)来形成多个容纳部(79)的工序；和从多个喷嘴向分别对应的多个容纳部(79)配置液状体(L)来形成薄膜的工序；在形成容纳部(79)的工序中，有效区域的边缘部(AR2)配置的容纳部(79)比有效区域的中央部(AR1)配置的容纳部(79)的俯视面积形成得小。

公开(公告)号：CN101498856B

公开(公告)日：2011-02-16

申请号：CN200910003725.5

申请日：2009-02-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 石塚博孝 ,  片上悟

IPC: G02F1/1335

CPC classification number: G02F1/133516

Abstract: 提供一种通过根据溶剂的蒸发的容易度控制喷出液状体的容纳部的大小，从而形成厚度均匀且高品质的薄膜的方法。在本发明的薄膜形成方法中，一边使多个喷嘴(160)和基板主体(41)相对地进行扫描，一边从喷嘴喷出在溶剂中溶解或分散了薄膜的形成材料的液状体(L)，对基板主体上设定的有效区域所包含的多个规定区域(78)分别配置液状体(L)来形成薄膜，包括：在各规定区域的周围设置隔壁(73)来形成多个容纳部(79)的工序；和从多个喷嘴向分别对应的多个容纳部(79)配置液状体(L)来形成薄膜的工序；在形成容纳部(79)的工序中，有效区域的边缘部(AR2)配置的容纳部(79)比有效区域的中央部(AR1)配置的容纳部(79)的俯视面积形成得小。