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公开(公告)号:CN111613717B
公开(公告)日:2023-07-28
申请号:CN202010115806.0
申请日:2020-02-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种难以产生裂纹的压电元件的压电元件、液体喷出头以及打印机。压电元件包括:第一电极,其被设置于基体上;第二电极;压电体层,其被设置于所述第一电极与所述第二电极之间,并且包含含有钾、钠以及铌的钙钛矿型结构的复合氧化物,所述压电体层的所述第二电极侧的面通过由第一粒子组成的第一区域和由第二粒子组成的第二区域而构成,所述第一区域上的凹凸的高度大于所述第二区域上的凹凸的高度,在所述压电体层的所述面中,所述第一区域的占有面积为10.0%以下。
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公开(公告)号:CN111613717A
公开(公告)日:2020-09-01
申请号:CN202010115806.0
申请日:2020-02-25
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/083 , H01L41/33 , B41J2/01 , B41J2/14
Abstract: 本发明提供一种难以产生裂纹的压电元件的压电元件、液体喷出头以及打印机。压电元件包括:第一电极,其被设置于基体上;第二电极;压电体层,其被设置于所述第一电极与所述第二电极之间,并且包含含有钾、钠以及铌的钙钛矿型结构的复合氧化物,所述压电体层的所述第二电极侧的面通过由第一粒子组成的第一区域和由第二粒子组成的第二区域而构成,所述第一区域上的凹凸的高度大于所述第二区域上的凹凸的高度,在所述压电体层的所述面中,所述第一区域的占有面积为10.0%以下。
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