公开(公告)号：CN1332042A

公开(公告)日：2002-01-23

申请号：CN01121739.1

申请日：2001-07-05

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小野阳一 ,  桥仓真次

IPC: B08B11/00

CPC classification number: C11D11/0047 ,  C11D1/40 ,  C11D1/523 ,  C11D3/18 ,  C11D11/0064 ,  G02F2001/133302 ,  Y10S134/902

Abstract: 提供一种洗涤方法和采用这种洗涤方法的液晶装置的制造方法,即使用烃类洗涤液进行洗涤,也可以从工件上完全除去有机物类和无机物类等任一种类型的污垢,同时不会残留界面活性剂。在洗涤机500中,作为前洗涤工序,在第一和第二预备洗涤槽602、603中,用在主要成分为正壬烷或正癸烷等正链烷烃中添加了脂肪酸烷基醇酰胺和N亚烷基烯二胺脂肪酸盐等界面活性剂的烃类洗涤液进行洗涤,之后,作为后洗涤工序,是在洗涤槽601中用未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液进行浸渍洗涤、喷淋洗涤和蒸汽洗涤。

公开(公告)号：CN1229188C

公开(公告)日：2005-11-30

申请号：CN01121739.1

申请日：2001-07-05

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 小野阳一 ,  桥仓真次

IPC: B08B11/00

CPC classification number: C11D11/0047 ,  C11D1/40 ,  C11D1/523 ,  C11D3/18 ,  C11D11/0064 ,  G02F2001/133302 ,  Y10S134/902

Abstract: 提供一种洗涤方法和采用这种洗涤方法的液晶装置的制造方法，即使用烃类洗涤液进行洗涤，也可以从工件上完全除去有机物类和无机物类等任一种类型的污垢，同时不会残留界面活性剂。在洗涤机500中，作为前洗涤工序，在第一和第二预备洗涤槽602、603中，用在主要成分为正壬烷或正癸烷等正链烷烃中添加了脂肪酸烷基醇酰胺和N亚烷基烯二胺脂肪酸盐等界面活性剂的烃类洗涤液进行洗涤，之后，作为后洗涤工序，是在洗涤槽601中用未掺合有界面活性剂的烃类洗涤液进行浸渍洗涤、喷淋洗涤和蒸汽洗涤。