公开(公告)号：CN1149932A

公开(公告)日：1997-05-14

申请号：CN96190271.X

申请日：1996-04-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高野靖 ,  关琢巳 ,  吉水靖博 ,  井上孝

IPC: H01L49/00

CPC classification number: H01L45/00 ,  G02F1/1365

Abstract: 在包括Ta电极层(16)、阳极氧化膜(18)和Cr电极层(20)的MIM型非线性元件(50)的制造方法中，首先在透明基片(12)上设有氧化钽膜(14)，在其上设有Ta电极层(16)、在其上设有阳极氧化膜(18)。之后进行热处理。热处理的最终降温工序是在含有水蒸汽的气氛中进行。之后，形成设有Cr电极层(20)的MIM型非浅性元件(50)。通过在含有水蒸汽的气氛中进行热处理，能够提高MIM型非线性元件的非线性特性，也能够提高断开时的电阻值特性。

公开(公告)号：CN1217429C

公开(公告)日：2005-08-31

申请号：CN96190271.X

申请日：1996-04-01

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 高野靖 ,  关琢巳 ,  吉水靖博 ,  井上孝

IPC: H01L49/00

CPC classification number: H01L45/00 ,  G02F1/1365

Abstract: 在包括Ta电极层(16)、阳极氧化膜(18)和Cr电极层(20)的MIM型非线性元件(50)的制造方法中，首先在透明基片(12)上设有氧化钽膜(14)，在其上设有Ta电极层(16)、在其上设有阳极氧化膜(18)。之后进行热处理。热处理的最终降温工序是在含有水蒸汽的气氛中进行。之后，形成设有Cr电极层(20)的MIM型非浅性元件(50)。通过在含有水蒸汽的气氛中进行热处理，能够提高MIM型非线性元件的非线性特性，也能够提高断开时的电阻值特性。