湿蚀刻溶液
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101131546B

    公开(公告)日:2011-09-28

    申请号:CN200710142032.5

    申请日:2007-08-20

    CPC classification number: C03C15/00 C09K13/08 H01L21/31111

    Abstract: 一种湿蚀刻溶液,包括氟化氢、无机酸、非离子型表面活性剂和水,其中所述氟化氢的量为所述蚀刻溶液重量的约0.1%~约3%,所述无机酸的量为所述蚀刻溶液重量的约10%~约40%并且所述无机酸是硝酸、硫酸和/或盐酸中的一种或多种,所述非离子型表面活性剂的量为所述蚀刻溶液重量的约0.0001%~约5%并且所述非离子型表面活性剂包括烷基酚聚氧乙烯醚和/或十二烷基硫酸铵中的一种或多种。

    湿蚀刻溶液
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101131546A

    公开(公告)日:2008-02-27

    申请号:CN200710142032.5

    申请日:2007-08-20

    CPC classification number: C03C15/00 C09K13/08 H01L21/31111

    Abstract: 一种湿蚀刻溶液,包括氟化氢、无机酸、非离子型表面活性剂和水,其中所述氟化氢的量为所述蚀刻溶液重量的约0.1%~约3%,所述无机酸的量为所述蚀刻溶液重量的约10%~约40%并且所述无机酸是硝酸、硫酸和/或盐酸中的一种或多种,所述非离子型表面活性剂的量为所述蚀刻溶液重量的约0.0001%~约5%并且所述非离子型表面活性剂包括烷基酚聚氧乙烯醚和/或十二烷基硫酸铵中的一种或多种。

    湿蚀刻溶液
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102225874A

    公开(公告)日:2011-10-26

    申请号:CN201110150434.6

    申请日:2007-08-20

    CPC classification number: C03C15/00 C09K13/08 H01L21/31111

    Abstract: 一种湿蚀刻溶液,包含:氟化氢,所述氟化氢的量为所述蚀刻溶液重量的0.1%~10%;氟化铵,所述氟化铵的量为所述蚀刻溶液重量的0.1%~10%;具有至少一个羧基的有机酸,所述有机酸的量为所述蚀刻溶液重量的30%~50%;醇,所述醇的量为所述蚀刻溶液重量的30%~50%;和水,其中所述湿蚀刻溶液表现出1∶1~1∶3的硅氧化物对金属硅化物的选择性比率。

    湿蚀刻溶液
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102225874B

    公开(公告)日:2013-01-30

    申请号:CN201110150434.6

    申请日:2007-08-20

    CPC classification number: C03C15/00 C09K13/08 H01L21/31111

    Abstract: 一种湿蚀刻溶液,包含:氟化氢,所述氟化氢的量为所述蚀刻溶液重量的0.1%~10%;氟化铵,所述氟化铵的量为所述蚀刻溶液重量的0.1%~10%;具有至少一个羧基的有机酸,所述有机酸的量为所述蚀刻溶液重量的30%~50%;醇,所述醇的量为所述蚀刻溶液重量的30%~50%;和水,其中所述湿蚀刻溶液表现出1∶1~1∶3的硅氧化物对金属硅化物的选择性比率。

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