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公开(公告)号：CN116997599A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202280021802.3
申请日：2022-03-11
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: C08J7/00
Abstract: 本发明改善由氟类的难粘接性材料构成的被处理物的粘接性。将包含一氧化碳、二氧化碳、氢、水蒸气、乙醇、丙醇、己醇、乙二醇、氨中的任一种或两种以上的工艺气体从工艺气体供给部(10)供给至等离子体生成部(20)。在等离子体生成部(20)中，通过等离子体使工艺气体活化，使其与被处理物(9)接触，通过基于所述接触的反应，使被处理物(9)的表面的氟原子的残存比例为所述接触前的60％以下，并且对所述被处理物的表面赋予碳原子、氢原子、氧原子中的任一种或包含它们中的一种以上的分子。
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