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公开(公告)号：CN101023713A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200580031890.1
申请日：2005-09-20
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H05H1/24 , H01L21/3065 , C23C16/50
CPC classification number: H01J37/32348 , H01J37/32724 , H01J2237/0206 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
Abstract: 本发明提出了一种等离子加工设备，其中电极与壳体之间的绝缘得到提高，并可以从外部控制电极的温度。固体电介质(50)形成在电极(30)的放电空间形成表面上。电极(30)以在放电空间形成表面上的固体电介质(50)被露出的方式放置在壳体(20)内。壳体内的空间(29)，即壳体(20)与壳体内部的电极(30)之间的空间，填充有大体上纯净的氮气，氮气的压力比放电空间内的压力设定得大些。优选地，氮气是循环的。
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公开(公告)号：CN101258784B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200680032713.X
申请日：2006-09-15
Applicant: 积水化学工业株式会社
CPC classification number: H01J37/32623 , H01J2237/0206 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
Abstract: 为了提供能够容纳待加工物品的面积的增加、并且能够在开始正常等离子放电时确保适当的加工的大气压等离子加工设备。在一种大气压等离子加工设备中，台(20)的第一台部分(21)的第一金属表面(21a)被暴露，并且由电介质材料组成的待加工物品(W)放置在第一金属表面21a上。固体介电层(25)设置在第二台部分(22)的第二金属(24)上。物品W的周边部分放置在固体介电层(25)的内部介电部分(26)上。电极(11)在第二台部分(22)的上方的第二移动范围(R2)内产生助走放电(D2)。然后，电极(11)移动到第一台部分(21)的上方的第一移动范围(R1)并产生正常等离子放电(D1)。
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公开(公告)号：CN101023714B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200580031892.0
申请日：2005-09-20
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H05H1/24 , H01L21/3065 , C23C16/50
CPC classification number: H01J37/32348 , H01J37/32724 , H01J2237/0206 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
Abstract: 一种等离子加工设备，其中防止了由电极与固体电介质之间热膨胀差引起的电弧放电的出现。加工单元(10L、10R)的壳体(20)的底部开口，并使用固体电介质板(50)关闭，且电极(30)容纳在壳体(20)内，且电极(30)在纵向方向上是自由的。固体电介质板(50)具有例如可以由自己支撑电极(30)的静重的强度。电极(30)安装在固体电介质板(50)的上表面，且没有固定到其上，从而电极(30)的静重大体上全部由固体电介质板(50)承受。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100428549C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN02802856.2
申请日：2002-09-09
Applicant: 积水化学工业株式会社
CPC classification number: H01M8/0297 , H01B1/122 , H01M4/8605 , H01M4/926 , H01M8/1004 , H01M8/1011 , H01M8/1037 , H01M8/1053 , H01M8/1074 , H01M8/1088 , H01M2300/0091 , Y02E60/523 , Y02P70/56
Abstract: 一种具有耐热性和耐化学性、且甚至在高温下也稳定发挥作用的膜电极集合体，该膜电极集合体通过连接气体扩散电极到质子导电膜的两表面上制得，其特征在于质子导电膜和气体扩散电极被连接在一起的膜电极连接部分含有三维交联结构，该交联结构包含金属-氧键，并通过溶胶-凝胶反应形成；如上所述的膜电极集合体，其特征在于气体扩散电极具有提前负载在其表面上贵金属催化剂，或如上所述的膜电极集合体，其特征在于膜电极连接部分除了三维交联结构，还进一步含有其上负载有贵金属催化剂的碳细颗粒；制备这些膜电极集合体的方法；以及使用这样的膜电极集合体的聚合物电解质燃料电池和直接甲醇型燃料电池，故它们能应付高温运转。
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公开(公告)号：CN101023714A
公开(公告)日：2007-08-22
申请号：CN200580031892.0
申请日：2005-09-20
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H05H1/24 , H01L21/3065 , C23C16/50
CPC classification number: H01J37/32348 , H01J37/32724 , H01J2237/0206 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
Abstract: 一种等离子加工设备，其中防止了由电极与固体电介质之间热膨胀差引起的电弧放电的出现。加工单元(10L、10R)的壳体(20)的底部开口，并使用固体电介质板(50)关闭，且电极(30)容纳在壳体(20)内，且电极(30)在纵向方向上是自由的。固体电介质板(50)具有例如可以由自己支撑电极(30)的静重的强度。电极(30)安装在固体电介质板(50)的上表面，且没有固定到其上，从而电极(30)的静重大体上全部由固体电介质板(50)承受。
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公开(公告)号：CN1537340A
公开(公告)日：2004-10-13
申请号：CN02802856.2
申请日：2002-09-09
Applicant: 积水化学工业株式会社
CPC classification number: H01M8/0297 , H01B1/122 , H01M4/8605 , H01M4/926 , H01M8/1004 , H01M8/1011 , H01M8/1037 , H01M8/1053 , H01M8/1074 , H01M8/1088 , H01M2300/0091 , Y02E60/523 , Y02P70/56
Abstract: 一种具有耐热性和耐化学性、且甚至在高温下也稳定发挥作用的膜电极集合体，该膜电极集合体通过连接气体扩散电极到质子导电膜的两表面上制得，其特征在于质子导电膜和气体扩散电极被连接在一起的膜电极连接部分含有三维交联结构，该交联结构包含金属－氧键，并通过溶胶－凝胶反应形成；如上所述的膜电极集合体，其特征在于气体扩散电极具有提前负载在其表面上贵金属催化剂，或如上所述的膜电极集合体，其特征在于膜电极连接部分除了三维交联结构，还进一步含有其上负载有贵金属催化剂的碳细颗粒；制备这些膜电极集合体的方法；以及使用这样的膜电极集合体的聚合物电解质燃料电池和直接甲醇型燃料电池，故它们能应付高温运转。
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公开(公告)号：CN101023713B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200580031890.1
申请日：2005-09-20
Applicant: 积水化学工业株式会社
IPC: H05H1/24 , H01L21/3065 , C23C16/50
CPC classification number: H01J37/32348 , H01J37/32724 , H01J2237/0206 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
Abstract: 本发明提出了一种等离子加工设备，其中电极与壳体之间的绝缘得到提高，并可以从外部控制电极的温度。固体电介质(50)形成在电极(30)的放电空间形成表面上。电极(30)以在放电空间形成表面上的固体电介质(50)被露出的方式放置在壳体(20)内。壳体内的空间(29)，即壳体(20)与壳体内部的电极(30)之间的空间，填充有大体上纯净的氮气，氮气的压力比放电空间内的压力设定得大些。优选地，氮气是循环的。
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公开(公告)号：CN101258784A
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN200680032713.X
申请日：2006-09-15
Applicant: 积水化学工业株式会社
CPC classification number: H01J37/32623 , H01J2237/0206 , H05H1/2406 , H05H2001/2412
Abstract: 为了提供能够容纳待加工物品的面积的增加、并且能够在开始正常等离子放电时确保适当的加工的大气压等离子加工设备。在一种大气压等离子加工设备中，台(20)的第一台部分(21)的第一金属表面(21a)被暴露，并且由电介质材料组成的待加工物品(W)放置在第一金属表面21a上。固体介电层(25)设置在第二台部分(22)的第二金属(24)上。物品W的周边部分放置在固体介电层(25)的内部介电部分(26)上。电极(11)在第二台部分(22)的上方的第二移动范围(R2)内产生助走放电(D2)。然后，电极(11)移动到第一台部分(21)的上方的第一移动范围(R1)并产生正常等离子放电(D1)。
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