公开(公告)号：CN103278662B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201310171003.7

申请日：2013-05-10

Applicant: 福州大学

Inventor： 韩国强 ,  何炳蔚 ,  陈玉琴

IPC: G01Q60/38

Abstract: 本发明涉及一种纳米镍棒阵列原子力显微镜针尖表征样品及其制造方法，该方法采用二次阳极氧化法加工得到多孔氧化铝模板；然后基于电子束蒸发的模板合成法，在所述多孔氧化铝模板上蒸发镍离子，形成镍薄膜；将具有纳米棒阵列结构的所述镍薄膜固定支撑，再去除所述镍薄膜上的多孔氧化铝模板，最后形成具有纳米棒阵列结构（1）的镍薄膜，即纳米镍棒阵列原子力显微镜针尖表征样品。该方法工艺简单，制造成本低，所加工的纳米镍棒阵列结构的尺度、深宽比及密度都可以通过调整多孔氧化铝模板的结构来实现，使其具有很大的自由度。通过该方法可制造出特征尺寸小、高深宽比、一致性好的纳米镍棒阵列原子力显微镜针尖表征样品。

公开(公告)号：CN103278662A

公开(公告)日：2013-09-04

申请号：CN201310171003.7

申请日：2013-05-10

Applicant: 福州大学

Inventor： 韩国强 ,  何炳蔚 ,  陈玉琴

IPC: G01Q60/38

Abstract: 本发明涉及一种纳米镍棒阵列原子力显微镜针尖表征样品及其制造方法，该方法采用二次阳极氧化法加工得到多孔氧化铝模板；然后基于电子束蒸发的模板合成法，在所述多孔氧化铝模板上蒸发镍离子，形成镍薄膜；将具有纳米棒阵列结构的所述镍薄膜固定支撑，再去除所述镍薄膜上的多孔氧化铝模板，最后形成具有纳米棒阵列结构（1）的镍薄膜，即纳米镍棒阵列原子力显微镜针尖表征样品。该方法工艺简单，制造成本低，所加工的纳米镍棒阵列结构的尺度、深宽比及密度都可以通过调整多孔氧化铝模板的结构来实现，使其具有很大的自由度。通过该方法可制造出特征尺寸小、高深宽比、一致性好的纳米镍棒阵列原子力显微镜针尖表征样品。